TFT玻璃清洗
2019-11-11 来自: 厦门和伟达超声波设备有限公司 浏览次数:727
一、非ODS清洗技术
到目前为止,LCD行业已有15家企业参与了《中国清洗行业ODS整体淘汰计划》,并获得***多边基会赠款。其中已有10家企业的替代设备投入运行。但仍有少数LCD厂继续使用CFC-113及TCA。部分已淘汰ODS清洗剂的企业也面临进一步***工艺、设备及非ODS清洗剂,以便提高LCD清洗品质及效益的问题。以下讨论LCD行业非ODS清洗技术的现状。
二、非ODS清洗剂及其工艺路线的选择
适用于LCD行业的非ODS清洗剂有水基、半水基和溶剂型三种, 水基、半水基清洗剂适用于超声水洗工艺路线,溶剂型清洗剂适用于气相超声清洗工艺路线。表1列举了各种清洗技术的比较,表2列举了部分溶剂型HCFC和 HFC等替代物的基本物化性能指标。