晶圆盒、硅片盒自动清洗机
公司名称: | 厦门和伟达超声波设备有限公司 |
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地 址: | 厦门火炬高新区(翔安)产业区翔虹路33号 |
手 机: | 邱经理 18060963375 |
电 话: | 5656688 5656655 |
公司网址: | www.xm-heda.com |
QQ: | 3976837902 |
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产品介绍
全自动晶圆盒超声波清洗烘干机
1、设备名称:全自动晶圆盒超声波清洗烘干机
2、设备型号:HD-QC7120/40C
3、设备用途:主要用于清洗4寸晶圆盒
4、设备能力
4.1清洗篮尺寸:400×400mm(L×W)高度根据实际情况另定,以最终设计为主,采用不锈钢材料制作(清洗篮底部采用镂空设计,解决清洗篮对超声波的衰减,有效提高了超声波对盒体清洗力度,从而保证了盒体的清洗质量)。
4.2清洗篮的装载能力:同时可装4寸晶圆盒6套。。
4.3典型生产节拍:0~8min/筐(从装篮进行清洗开始,到完成结束,清洗节拍连续可调)。
4.4生产能力和开机率:生产能力≥120套 /小时,开机率≥95%。
5、设备组成
该设备由1个SUS304不锈钢喷洗槽、2个SUS304不锈钢超声碱洗槽、3个SUS304不锈钢超声漂洗槽、1个SUS304不锈钢脱水槽、1个300LSUS304不锈钢储液槽、1个600LSUS304不锈钢净水槽、2个不锈钢自动进出料装置、1个内胆为SUS304不锈钢三工位热风循环干燥出料装置、A3钢机架(外包不锈钢板)、1.0mm不锈钢外壳、1套智能式双臂多勾机械手、1套甩干脱水装置、5套超声波清洗装置、自动加热恒温装置、自动过滤循环装置、低液位保护装置、密封抽气接口装置、1套马达驱动凸轮上下抛动辅助清洗装置、PP管路系统及触摸屏PLC电气控制系统等组成。详见设备结构示意图。
6、设备工作流程
6.1工艺流程
上料(手动)→喷淋粗洗→超声粗洗(抛动、加热)→超声精洗(抛动、加热)→超声纯水漂洗(抛动、加热)→超声纯水漂洗(抛动、加热)→超声纯水漂洗(抛动、加热)→甩干脱水→通过式三工位烘干→下料(手动)