刻蚀机-半导体刻蚀机全自动晶圆刻蚀机福建厦门湿法刻蚀耐强酸碱

 刻蚀槽去胶设备：

可清洗晶片规格：6吋片。

晶片材质：PI 等

液位监测: 多点监测。

设备具有报警、过载保护及漏电断路保护功能。

设备配置：

1、刻蚀槽，带鼓泡 3个

3、常温 DI QDR 槽 2个

1、刻蚀槽设备框架及外包板

●SUS304框架；

●进口盐白PP外包板；

●台面板网孔板设计，可单独拆装；

●其它材料：前门板为透明PVC，前门采用左右拉门；

●水平调整：通过地脚调整设备水平；

●设备移动：设备装有脚轮以备设备移动之用，机器内部上方有防酸日光灯；

●主体设备外形尺寸：约 2440×1460×2200mm （可定制）

●设备操作面高度：约1000mm。

2、 POS1、POS3、POS5、酸洗槽

●槽体材质：进口PVDF，单槽结构，防漏槽材质：PP；

●上下慢提拉机构：

●排气：共用排气管路，材料为PP，设防腐排气风机，配置连接法兰及调节阀门，尺寸为200A，接口在设备的上部；

●排液：分两路，一般排放手动；单独排放，自动，气动阀

刻蚀槽设备电气控制说明

6.1 设备控制

●电气主控制采用台达 PLC；

●触摸屏采用威纶10吋触摸屏，各个动作有单独触摸屏操作界面。

6.2 数据输入输出以及范围

●当输入一个数据会引起矛盾时，该数据应该设定为不能写入触摸屏；

●可设定的条件尽量详尽的写入触摸屏，如清洗时间、药液更换周期、清洗模式等。

6.3 报警及提醒

●蜂鸣器报警表示由于一些非常规情况发生要求停止操作；

●非常规情况发生后其内容及需要检查的科目显示在触摸屏上；

●具备ERROR及ALARM信息清除功能；

6.4 清洗条件及清洗时间

●清洗时间：0~9999sec可设定

、设备的安全使用信息

★确定整台设备处于安全状态且各周边配件都接好并能产生功效时，确信所有人员均处于安全位置才可开始运行设备。

★设备运行时切勿打开盖子或触摸正在运转中的机器部件，不得将手或工具伸入设备内部。

★不得拆下或忽视设备安全保护装置，并应该每天对这些安全设施（如“紧急停止”按钮、 门板光电感应开关等）进行检查。

★操作机器时，切不可靠近转动部件的工作范围，该范围内的人为或物体干涉，都会影响设备的生产流程。操作时应穿戴具有防护功能的服饰，不得穿戴松散衣物。

★进行设备清理、检查和维护前需先切断电源供给部分。否则，接触传感器或按钮时可能引发意想不到的后果。

★打开电源开关后，不得对电控柜内部进行操作，以防触电。

★不得将电子或电气元件与水或湿气相接触，否则会使该元件损坏，或有发生电击的危险。

★不可将酸或碱滴到设备的电气控制部件以及某些马达的内部元件里去，因为在稀释过程中产生高温的情况下，滴到这些部件上的酸或碱会将其零件腐蚀。

★万一设备出现故障，请马上关掉设备以使危害减小。

★为使光电感应开关准确工作，需经常保持其清洁。

★设备在关机后仍在一定的时间内会保留余温。为避免使设备受到损伤，应该在加热管关掉5分钟后才开始排放液体。

★随时检查所有线路、管道及螺栓连接处的明显损伤，发生明显的变化时需将情况立即报告给管理者。

★进行维修时，不可忽视设备各部分的安全互锁，并放好警示标志。

★长时间于工作环境呼吸以及废物的蒸汽（例如抗蚀剂蒸汽和溶剂）都会危害人体健康，应经常对排气装置进行检查。

★遵守设备所允许的操作温度(如：聚丙烯(PP) : 90℃)

★所有过滤桶都需要在设备关掉后方可打开。

★设备中塑料元件摩擦温度(PP, PE, PVDF)可达40℃,防止烫伤。

★设备后面及下面的管道一直都在使用中，只有在经过足够长时间的冷却后方可接触。    

2-1“紧急停止”操作介绍

“紧急停止”按钮位置示意：操作该设备的人员请先仔细阅读该页，并熟悉“紧急停止”按钮在设备上的位置。

该设备上共有若干个紧急停止按钮。分别在触摸屏上，设备的中部以及上、下料段等处。如果设备出现故障或报警蜂鸣器响起，要立即按下“紧急停止”项

紧急停止以及再开机使用步骤如下：

1-1蜂鸣器响起，电控柜上的“警报”按钮灯亮，按下“紧急停止”按钮。此时设备将停止运转，但程序并不会退出。

1-2即时找出故障并将其排除。

1-3旋转“紧急停止”按钮使其复位。

1-4按下“电源”开关开动设备。

2-2设备的安全安装

按提供的设备总图把设备安装在指定位置。需提供适当的通风及操作空间。设备的安装现场要求通风，对设备保持足够的正压，使用前要先打开设备排废气系统，生产现场需通风。在设备周围需有足够的空间，便于出入、清洁和维修。控制柜的摆放位置要合理，需满足操作设备时能看到控制柜的控制装置同时也能在控制装置处看到设备各项工作情况，这对保证生产线上的工作人员的安全极其重要。注意将电控柜与设备危险区保持足够距离（不妨碍操作设备和电源控制）、在未经本公司同意时，不得更改控制程序的任何部分。若因生产需要，进行任何机械或电控系统更改时需经过本公司授权。

主要清洗对象：

设备结构示意图